真空鍍膜機主要是指需要在較高真空下進行一種鍍膜,包括真空蒸發鍍膜機、真空多弧離子鍍膜機、真空中間頻磁龍濺射鍍膜機、多功能中間頻磁控濺射多弧復合離子鍍膜機、真空光學(電子束蒸發)鍍膜機等系列真空鍍膜設備。那么,在使用真空電鍍機時,我們應注意什么?如何維護它?
真空鍍膜機維護和安全措施如下:
1. 設備(bei)必須可靠接地,并且(qie)必須經常(chang)檢查接地裝置的(de)導(dao)電效果。
2. 當擴散泵(beng)(beng)和增油泵(beng)(beng)加熱時,不要接觸大氣,以免泵(beng)(beng)油氧化。
3. 定期(qi)檢(jian)查調(diao)節(jie)水(shui)流(liu)繼(ji)電器(qi),檢(jian)查斷水(shui)報警(jing)是否正常,確(que)保設備(bei)冷(leng)卻(que)供水(shui)暢通。
4. 加(jia)熱前冷卻水(shui)必須連接到(dao)擴散泵(beng)和增油泵(beng),泵(beng)停止(zhi)工作,但當泵(beng)未冷卻到(dao)低于 80°C 時,不得切斷冷卻水(shui),以防止(zhi)泵(beng)芯(xin)燃燒(shao)。
5. 所有(you)設備的冷卻水在(zai)涂(tu)裝工(gong)作(zuo)前必須連接,以防止電極(ji)和基板燃燒。
6. 拆卸和組裝設備(bei)的各個部件時,應注意保護每個密封工作表(biao)面免受機械劃痕或損壞,以(yi)確保設備(bei)可靠的密封性能。
7. 設備各傳動軸的(de)真空密封(feng)采用(yong)"骨(gu)架油封(feng)"形式,骨(gu)架油封(feng)內腔充滿潤滑油。使(shi)用(yong)一段時(shi)間后,它將會丟失,并且必須用(yong)同(tong)樣(yang)的(de)潤滑劑填充。
8. 經常檢查根泵和滑動(dong)閥泵的儲油(you)情(qing)況,并定期補充。同時,按(an)照手冊的要(yao)求進行維(wei)護。